晶圓探針臺
GPS1200晶圓測試探針臺是晶圓探針檢測的專用設備。它能夠滿足12英寸、8英寸晶圓的測試需求，通過高精度定位平臺、高剛性晶圓承載臺和高分辨率仰視相機（探針相機）及俯視相機（晶圓相機），實現全自動上下晶圓料片、對針和高精度扎針，與測試機配合完成對晶圓上集成電路的品質檢測。
1、主要指標
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功能指標 |
晶圓直徑 |
mm |
300/200 |
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探針卡最大直徑 |
mm |
500 |
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綜合測試誤差 |
μm |
≤±2.5 |
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Chuck承載力 |
Kg |
200 |
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Kg |
400(選配) |
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高溫測試 |
溫控范圍 |
℃ |
30-150 |
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溫控精度 |
℃ |
±2 |
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Chuck高溫變形 |
μm |
＜20 |
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工作行程 |
X軸 |
mm |
350 |
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Y軸 |
mm |
765 |
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Z軸 |
mm |
35 |
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θ軸 |
° |
±3.5 |
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精度指標 |
X軸 |
μm |
±1 |
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Y軸 |
μm |
±1 |
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Z軸 |
μm |
±2 |
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θ軸 |
″ |
±3 |
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速度指標 |
X軸 |
mm/s |
100-400 |
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Y軸 |
mm/s |
100-400 |
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Z軸 |
mm/s |
1-20 |
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θ軸 |
°/s |
1-5 |
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圖像系統 |
晶圓相機 |
放大倍率 |
1倍/6倍 |
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探針相機 |
放大倍率 |
2倍/12倍 |
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預對準相機 |
視場角 |
40°x52° |
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ID號相機 |
視場角 |
24°x31° |
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控制系統 |
工控機 |
帶圖像采集卡 |
2口/4口 |
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控制器 |
多軸運動控制 |
PMAC（8軸）x2 |
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機械參數 |
檢測單元 |
長/寬/高度 |
mm |
1775/1095/1005(報警燈1410) |
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設備重量 |
kg |
1750 |
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上料單元 |
長/寬/高度 |
mm |
1830/632/1617(報警燈1920) |
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設備重量 |
kg |
550 |
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2、產品特點
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項目 |
性能描述 |
備注 |
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設備功能 |
適合晶圓廠12寸、8寸晶圓測試要求，從晶圓上料到測試完成全自動化，滿足多芯測試和多并值測試要求。 |
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設備特點 |
1、全閉環高精度定位平臺。 2、CCD識別自動對針。 3、雙機械手自動上下料。 4、自動上卡（選配）。 5、承載臺高溫測試控制。 6、高分辨率圖像系統。 7、數據存儲及管理系統。 8、全中文觸屏操作、界面清晰。 |
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功能配置 |
1、自動裝、卸料盒 |
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操作界面 |
1、全中文界面。 2、過程信息顯示功能。 3、報警信息顯示功能。 |
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安全性 |
1、多種硬件、軟件安全開關保證設備運行安全。 2、故障、異常實時報警。 3、關鍵參數的權限管理 4、關鍵數據判別攔截 |
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外部接口 |
1、GPIB 2、RS232 3、TTL |
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3、使用條件
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項目 |
說明 |
備注 |
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環境溫度 |
22℃±1 ℃ |
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相對濕度 |
50±15 ％RH |
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壓縮空氣 |
無油霧和濕氣的干燥氣，≥0.5Mpa |
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真空供給 |
≤-80Kpa |
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電源電壓 |
單相，AC 220V，50HZ，2.0KvA |
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