紅外激光劃片機
AS113S系列激光劃片機是0201片式電阻制程中的專用設備。它適合小尺寸陶瓷基板的劃線制程需求，通過高精密直線定位平臺配合高功率激光器，實現高效、穩定的全自動劃線。
本設備具備高精度的視覺對位系統，通過俯視和仰視相機可以實現正面和反面劃線，并保證兩面的劃線重合度。
1、主要指標
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工作范圍 |
X/Y軸行程 |
mm |
250/200 |
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基片尺寸 |
mm |
80*80（可選） |
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劃線參數 |
劃線速度 |
mm/s |
400 |
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劃線深度 |
μm |
20-150 |
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光學系統 |
光斑尺寸 |
μm |
20 |
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激光波長 |
nm |
1070 |
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激光功率 |
w |
100 |
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調焦精度 |
μm |
<2 |
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工作臺 |
定位精度 |
μm |
<1.5 |
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旋轉精度 |
″ |
1 |
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視覺系統 |
圖像系統 |
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雙CCD系統 |
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控制系統 |
PCI板卡 |
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8軸高速控制卡 |
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機械參數 |
長/寬/高度 |
m |
1.3/1.1/1.5 |
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設備重量 |
kg |
980 |
2、產品特點
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主要參數 |
性能描述 |
備注 |
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劃片質量 |
對0201劃片，I分、II分劃槽形貌符合氣化層、熱熔層深度1:1；深度、寬度等需達到技術要求；劃片后破片率＜0.1%； |
見附圖1 |
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劃片工藝 |
1.火山口高度0-4μm可調。 2.火山口呈現凹槽形貌，凹槽深度>3μm。 |
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產能 |
以0201型號為例，連續生產完成正反面劃線產能不少于380片/天。 |
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精度 |
1.整機劃片精度小于±5μm。 2.線間距pitch值誤差小于±0.5μm。 3.劃片后重合度≤5μm。 |
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器件選型 |
1.使用西進劃片機等同激光器（飛博）。 2.直線平臺采用大銀、東方馬達等知名品牌。 3.質保期3年以上。 |
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功能配置 |
1.劃片機自帶圖形編輯功能，操作簡單方便，并能提供數據輸入錯誤提示、參數異常提醒等功能。 2.關鍵參數加入權限管理，避免誤操作發生。 |
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穩定性 |
劃片機穩定性好，調試成功后質量及工藝可長期穩定維持，基本無正常操作情況下停機，維護一次可工作一個月以上。 |
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