激光調阻機
LTR 系列激光調阻機是長春光華微電子設備工程中心有限公司的榮譽產品，具有18年的發展歷程。激光調阻機是先進的現代化片式電阻阻值修調設備，采用無機械接觸式的激光加工工藝，具備生產速度快（80萬只/小時），調阻精度高（1%、0.1%）等優點，在微電子行業廣泛應用。該產品是集成光、機、電、算于一體的現代化高精密工業設備，修調阻值覆蓋范圍5mΩ~200MΩ，具有L-cut、II-cut、Z-cut、S-cut等26種光刻刀形，主要用于生產厚膜、薄膜、金屬膜、功能電路等各種尺寸規格（01005、0201、0402、0603、0805、1206等）的片阻產品。光華公司具有完全的自主知識產權，可以根據客戶要求定制機型。
LTR420/530系列 激光調阻機技術指標
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型號 |
LTR420D |
LTR420E |
LTR420F |
LTR530A |
LTR530B |
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基片型號 |
0402,0603 |
0201,0402 |
0805, 1206 |
0603,0805 |
0402 |
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應用 |
厚膜 |
厚膜 |
超低阻 |
薄膜 |
薄膜 |
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激光器功率 |
6W |
6W |
6W |
3W |
3W |
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擴束器 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
2—8 |
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Fθ透鏡焦距 |
163mm |
163mm |
163mm |
100mm |
100mm |
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光斑直徑 |
25μm--35μm |
25μm--35μm |
25μm--35μm |
8μm--12μm |
8μm--12μm |
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掃描分辨率 |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
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掃描定位精度 |
±4μm |
±4μm |
±4μm |
±2.5μm |
±2.5μm |
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圖像監視 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
CCD×1 |
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圖像定位 |
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CCD×1 |
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CCD×1 |
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圖像定位精度 |
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±3μm |
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±3μm |
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測量范圍 |
1Ω---300M |
1Ω---300M |
5mΩ---100Ω |
1Ω---300M |
1Ω---300M |
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測量響應時間 |
中阻區：18μs |
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測量分辨率 |
中阻區：0.005％ |
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測量重復精度 |
中阻區： ±0.01％ |
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測量精度 |
低阻區:±0.02％±(1％/R)( R< 50Ω); 中阻區:±0.02％; 高阻區: ±0.02％±0.02%每MΩ( R>250KΩ) |
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調阻控制精度 |
±5% ~ ±1%, |
±5% ~ ±1% |
±5% ~ ±1% |
±5%~ ±0.1% |
±5%~ ±0.1% |
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測量通道 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
192/240/288 |
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探針形式 |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
2/4T--4Line |
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載臺定位分辨率 |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
1μm |
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載臺重復定位精度 |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
±5μm |
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載臺定位精度 |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
±10μm |
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